激光诱导击穿光谱(英语:Laser-induced breakdown spectroscopy,LIBS) 技术通过超短脉冲激光聚焦样品表面形成等离子体,进而对等离子体发射光谱进行分析以确定样品的物质成分及含量。超短脉冲激光聚焦后能量密度较高,可以将任何物态(固态、液态、气态)的样品激发形成等离子体,LIBS技术(原则上)可以分析任何物态的样品,仅受到激光的功率以及摄谱仪&检测器的灵敏度和波长范围的限制。再者,几乎所有的元素被激发形成等离子体后都会发出特征谱线,因此,LIBS可以分析大多数的元素。如果要分析的材料的成分是已知的,LIBS可用于评估每个构成元素的相对丰度,或监测杂质的存在。在实践中,检测极限是:a)等离子体激发温度的函数,b)光收集窗口,以及c)所观查的过渡谱线的强度。LIBS利用光学发射光谱,并且是该程度非常类似于电弧/火花发射光谱。
LIBS在技术上是非常相似的一些其它基于激光的分析技术,共享许多相同的硬件。这些技术是拉曼光谱学的振动光谱技术,激光诱导荧光(LIF)的荧光光谱技术。实际上,现在设备已经被制造成在单个仪器中结合这些技术,允许样品原子的,分子的和结构的特征研究,以给予物理性质的一个更深入的了解。
激光诱导击穿光谱与其他常用元素分析的方法相比,其主要优点有:
(1)、利用激光*的性能,可实现远程、实时、在线元素检测。
(2)、仪器体积相对较小,适用于现场分析、可在恶劣条件下进行测定。
(3)、可用于各种形态的固体、液体甚至气体分析,而且无需繁琐的样品前处理过程,分析简便、快速。
(4)、可测定难溶解的高硬度材料,对样品尺寸要求不严格,且对样品的破坏性小,实现微损甚至近于无损检测,样品消耗量极低(约0.1μg-0.1mg)。
(5)、分析时间短,从激光脉冲发射到信号收集的整个过程仅仅需要毫秒级别的时间。
(6)、可进行多元素同时检测。